dr hab. inż. Michał Marek Mazur

Wróć
Adres e-mail michal.mazur@pwr.edu.pl
Dyscypliny naukowe

Automatyka, Elektronika, Elektrotechnika i Technologie Kosmiczne

Strona domowa https://tft.pwr.edu.pl
Profile naukowe

ResearchGate

ORCID

Google Scholar

Scopus

Web of Science

Tematyki badawcze

Tematyka badawcza związana jest z wielofunkcyjnymi powłokami cienkowarstwowymi wytwarzanymi metodami PVD dla transparentnej elektroniki - w tym rozpylaniem magnetronowym i parowaniem wiązką elektronową. Wytwarzane cienkie warstwy mogą znaleźć zastosowanie np. w optoelektronice, czy czujnikach gazów (wodoru, tlenków azotu, amoniaku etc.). Wśród zainteresowań naukowych znajdują się także powłoki o właściwościach gazochromowych, sensory gazów, powłoki optyczne, przezroczyste tlenki półprzewodnikowe i przewodzące (TOS, TCO).
Dysponujemy specjalistyczną aparaturą do nanoszenia cienkich warstw, w tym kilkoma stanowiskami do rozpylania magnetronowego oraz parowania wiązką elektronową. W ramach szerokiej charakteryzacji w naszych laboratoriach można wykorzystać, między innymi: mikroskop AFM, mikroskop i profilometr optyczny, spektrofotometry na zakres od 200-2500 nm, charakterograf prądowo-napięciowy ze stacją pomiarową i klatką Faraday'a, analizator impedancji, kriostat azotowo-helowy do badań efektów chromowych, stanowiska do badań odporności na ścieranie, zwilżalności, aktywności fotokatalitycznej, współczynnika Seebecka.

Słowa kluczowe

rozpylanie magnetronowe

czujniki gazów

optoelektronika

właściwości elektryczne

właściwości optyczne

właściwości strukturalne

cienkie warstwy

transparentna elektronika

Email address michal.mazur@pwr.edu.pl
Scientific disciplines

Automation, electronics, electrical engineering and space technologies

Personal website https://tft.pwr.edu.pl
Research profiles

ResearchGate

ORCID

Google Scholar

Scopus

Web of Science

Research topics

The research subject is related to multifunctional thin-film coatings deposited by PVD methods for transparent electronics - this includes magnetron sputtering and electron beam evaporation. Deposited thin films can be used, for example, in optoelectronics or gas sensors (for hydrogen, nitrogen oxides, ammonia etc.). My scientific research interests are also focused on gasochromic, thin film coatings, gas sensors, optical coatings, transparent oxide semiconductors TOSs and transparent conducting oxides TCOs.
We have specialized equipment for thin film deposition, including several stations for magnetron sputtering and electron beam evaporation. As part of a broad characterization in our laboratories, we can use, among others: an AFM microscope, an optical microscope and profilometer, spectrophotometers in the range of 200-2500 nm, a current-voltage characterograph with a measurement station and a Faraday cage, an impedance analyzer, a nitrogen-helium cryostat for testing chromic effects, test stand for abrasion resistance, wettability, photocatalytic activity, Seebeck coefficient.

Keywords

thin films

transparent electronics

magnetron sputtering

gas sensors

optoelectronics

electrical properties

optical properties

structural properties